一.人员管理：
在各项维护管理工作中，对人员的管理最为重要，因为人是洁净室的主要尘源。国外在对洁净室工作人员的管理方面都有十分苛刻的规定，结合国内外的经验，应着重注意以下两点:１.不准进入洁净室的人员：①.皮肤有晒蕉、剥离、外伤和炎症、搔痒症者。(对于在生物安全实验室内工作的人员，当其创伤、擦伤、皮肤病灶和刚拔过牙还未全愈时，不得在室内接触有一定危险度的病原体操作)②.对化学纤维，化学容剂有变态反应者。(可刺激皮肤过敏反应或打喷嚏)③.手汗严重者。(汗液中的盐分是半导体器件严重危害的钠离子污染源)④.鼻子排出物多者。⑤.过多掉头皮，头发者。⑥.感冒、咳嗽、和打喷嚏者。⑦.有搔头、挖鼻孔、摸脸、搓皮肤等习惯者。(在半导体硅片上发现的尘粒有一半是头屑油泥之内)⑧.没有按规定洗去化妆品、指甲油和穿洁净工作服者。⑨.刚作完剧烈运动而出汗者。⑩.吸烟、饮酒后不超过30分钟者。(口腔内食物残渣和吸入的烟粒子在说话，呼吸过程中能再次喷出)２.日常应注意的事项：①.争取每天冲澡，换衣，经常洗头，保持身体清洁。(实验和经验都证明由于洗澡后皮肤表面油脂膜的脱落而使皮肤变干，因而掉落的皮屑并不比洗澡前少，因此这里提出“冲澡”，指只需冲去“浮尘”即可)②.男子尽量每天刮胡须。(由于胡须容易留存污染粒子和微生物，对于生物洁净室的工作人员特别是从事靠空气传染的病原体的操作人员，更不要留胡须。即使戴防毒面具，为了冲分发挥其功能，胡须的存在也是不利的)③.经常洗手，剪指甲，洗手后擦润肤膏，以防皮肤干裂。④.在洁净室内动作要轻。在洁净室内不要拖足行走，不要振臂转动，不做不必要的动作或走动。(动作的发尘是主要尘源，应尽量予以控制)⑤.在洁净室内不许吸烟和饮食。⑥.在洁净室内要按需要戴手套或指套，不要露出手腕。戴上手套后，不接触不洁净的东西，包括自己的身体。(据调查，除坐着的人外，在任何一段时间内，洁净室内有1/3的人的手要接触脸，而经验表明，即使对于皮肤细嫩的人，用深色尼龙手套轻轻一抹脸，即沾上很多皮屑)手套和指套要经常更换。⑦.不准在室内拉开洁净服拉链。(不仅拉链本身可产尘，而且内衣上的尘粒也因振荡而散在体外)⑧.一切操作都在洁净气流的上流侧进行，重要的操作要在洁净工作台内进行避免受到交叉污染。⑨.手动工具、器具、笔记等用毕要放回有盖的盒子里。⑩.进入洁净室的人要控制在最少数量，100级和更高级别的洁净室人员密度不大于0.1，低于100级的洁净室，人员密度不大于0.25为好。对上下午进入洁净室的人数、时间要分别登记。对正式工作人员以外的人员进入洁净室的数量和时间进行登记(目的是在产品质量有问题时可以核查尘源)。
二.出入制度：１.不准带入洁净室的物品：①.没有按规定经过洁净处理的所有物品。②.纸和笔。(洁净室只能用塑料薄膜纸和圆珠笔，因为一般用的纸和笔产尘极大)③.一切个人物品包括钥匙、手表、手帕、笔记本等。
２.人员出入制度：①.一切人员进入洁净区和洁净室必须遵循规定的净化路线和程序，不得改变。必须换上专用拖鞋方可进入洁净区，必须换上专用帆布拖鞋才能进入洁净室，因为普通拖鞋在走路时易扬起地面尘粒。②.外衣和洁净工作服分地分柜存放，入室人员不得未脱外衣即进入洁净服更衣间。③.洁净区入口如有风淋室，进入人员一定要通过风淋室，并按规定关好门后在风淋室内举起双臂，将身体慢慢地转1-2圈，时间不少于30秒。④.进入洁净区前，要将拖鞋在净鞋器(垫)上或湿的垫子上擦拭，进入洁净区后，根据需要随时洗手，洗手后再换工作服。洗过的手要用洁净烘干器吹干，或用发尘量少的纸巾擦干。⑤.要以站立姿势穿洁净服，不要使洁净服碰地板、工作台等可能有尘的东西，并换上帆布鞋。⑥.换上工作服后还要洗手，不能赤手操作已被净化过的零件、产品和包装材料，必须戴上洁净手套或指套才能进入洁净室操作。⑦.出洁净室时，不必通过风淋室。进入更衣室后首先换鞋，再脱下洁净工作服，如有必要，先按上面有关事项洗手后再脱帽、换衣，脱衣时同样不要碰在地面等可能带尘的地方。⑧.不能穿洁净工作服上厕所(洁净厕所除外)，上厕所按出入洁净室的注意事项处理。⑨.在生物洁净室，特别是生物安全实验室工作的人员，操作完毕后，首先脱掉防护衣和其它实验室专用内衣(拿出洁净室前要灭菌处理)，然后立即洗手，淋浴，洗脸，再刮胡须、刷牙，最后做其它的事，在洗手之前不得走出实验室或者吸烟、吃东西、上厕所，个人配戴的手表等东西也不得在洗手前戴上，即使使用橡胶手套在操作完毕后也要洗手。因为手套有小孔、裂缝或由于指甲划伤而可能留下污染的途径。
三.用具、设备的选择与管理：以下是应注意的要点：1.粘鞋垫必须定期更换或再生，或定期剥去表面已沾污的薄层，湿垫子必须每天清洗。2.洗手器的水龙头要用脚踏式，不用手扭式。3.要备有专用的洗涤剂、护肤膏、手吹干器或发尘量少的用完即丢弃的纸巾。4.要用发尘量少的材料如适当表面处理过的钢、铝、质量好的塑料制作的工作台和椅子。如有可能最好用不锈钢制作。5.洁净工作台的结构要尽量简单，不许用带垫子的软椅，不许用带抽屉和侧面围档的工作台。6.家具的棱角部分要作成圆角，腿脚部分要加橡皮或塑料做的套子。7.器材柜的高度要便于用手擦清顶面，抽屉要按磨损小的滚珠。8.搬运车要用不锈钢、硬塑料或经适当表面处理的钢、铝合金制做，承重台面要用特别耐磨的材料，车轮轴承要用无油密封轴承，车轮要用耐磨硬橡胶。9.记录用纸只能用塑料纸。10.记事板不能用普通黑板和粉笔只能用白板，油性笔和专用抹布，并且只能放在准备间。11.废料筒要用不锈钢、硬塑料或经适当表面处理的钢、铝合金制做，用脚踏式盖筒，筒中最好放一个盛废料的塑料袋。12.对各级过滤器按规定的内容和周期进行检查、更换和记录，系统初过滤器累计运行1个月清洗一次。中效过滤器累计运行2—4个月清洗或更换一次。高效过滤器在出现下列任何一种情况时即应更换：①.气流速度降到最小限度，更换预过滤器以后气流速度也不增大时。②.高效过滤器的阻力达到初阻力的两倍且全部过滤器的阻力超过风机能力时③.高效过滤器出现无发修补的泄漏时。④.更换高效过滤器时，过滤器的塑料袋只准在安装时就地启封。13．空调风机是检查的重点，主要看皮带有无打滑或掉带，可用手将主动轮与被动轮之间的皮带按下，按下量应是1.25-2.5cm。如果皮带过松，风量就下降；过紧则容易损坏轴承座。此外，还应按时给轴承加油。14．空调热交换器(表冷器或加热器)应着重看片间有无堵塞，应趁堵塞还不太严重时，用高压水及时清除。对表冷器叶片还应定期用药剂清洗杀菌，因为这里最容易繁殖细菌。15．空调用加湿器下的水盘中积存一些金属杂质及水垢，这些污物应定期清除，以保证加湿器的正常工作和避免污染。挡水板应常清擦，凝结水的排水点应检查并清扫。这些地方都是细菌的温床。16．空调用电动机要定期做绝缘检查。17．空调风机，热交换器，加湿器，电动机等的设备检查每年不少于2次。18.在洁净室进行生产时，净化空调系统不得随意停止运行，因故需停止运行时必须先通知洁净室工作人员。
四.卫生和安全：以下是应注意的要点：1.洁净室的清扫应在每天下班前工艺操作结束后进行。2.清扫要在洁净室净化空调系统运行中进行，并根据不同净化级别进行定期检测。3.清扫工作结束后，净化空调系统要继续运行，直到恢复规定的洁净度级别为止,一般不短于该洁净室自净时间。4.为了防止交叉污染，不同洁净度级别的洁净室有各自专用的清扫用品，扫在一起的垃圾装入塑料袋中拿出。对于从生物安全实验室扫出的垃圾则要焚烧，使用过的清扫用具要浸渍药水消毒。5.清扫用拖布、抹布不要用易掉纤维的织物材料，一般可用丝绸，尼龙绸，聚胺脂海棉等。6.对于高级别洁净室清扫用水不应用自来水，而应用过滤过的水。7.洁净室清扫用洗涤剂可按每升水加入30克中性的残留物含量少的液体洗涤剂配制而成。8.大的物件搬进洁净室时，先要用真空吸尘器或擦拭方法处理，在洁净室净化系统停止运行期间，不允许把大的物件搬进洁净室。9.需要拿入洁净室的小物件，先要擦拭清洁，然后通过传递窗进入洁净室。10.使用的消毒剂需定期更换，以防微生物产生抗药性。11.净化空调系统启动时，禁止先开回风机。系统关闭时，禁止先停送风机，单风机系统除外，系统未运行时，不应单独开启局部排风系统。12.对正压控制装置，应经常检查以免失灵。13.对洁净室的消防器材、安全门、安全通道都有醒目标示，工作人员要熟悉它们的位置。安全门必须保证随时可以开启，安全通道中不准堆放杂物。安全防火设施应经常检查。14.洁净室发生火警时，应立即发出警报，关毕风机和洁净室内的所有设备，切断电源及易燃气体通路。(配有防火阀或防火开关的系统迂火警将自动关毕风机，事后需手动复位。)
五.洁净服及其管理：1.洁净服的衣料要选用不产生静电或经过防静电处理的材料，因为洁净室内相对湿度一般较低，一些人造纤维工作服带电电位极高，而经过防静电处理后则带电电位可降低80％，尘埃附着率可减少90％。2.洁净服以衣裤分离为好，但上衣必须放在裤子里。此外，帽子或披肩帽、帆布鞋、长统鞋套和手套也应根据需要配备。3.高级别洁净室使用披肩帽时，其下摆应放在上衣之内。帽子不允许只戴在头的后半部，一定要把前额上部头发和头发梢全罩起来。4.对有滑石粉的橡皮手套，拿进洁净室前必须把滑石粉除去。5.新的洁净服必须经过洗涤才能使用。有条件时可用无尘水或纯水洗涤，比用一般水洗涤效果好的多。6.洁净服一般应1—2星期清洗一次，洗涤、烘干、包装必须在洁净环境中进行，以免重新附着上尘粒。
六．日常监测制度要有专人负责洁净室主要参数的日常监督检验。一般可按下表的建议执行日常监测建议项目
七．对突发污染事故的处理平时对洁净室除要进行监测外，有时还要应付突发的污染事故，主要是室内含尘浓度和细菌浓度的突然增高。事故发生后就按下表的次序冷静仔细地进行分析处理，首先应考虑有无突发污染源。
八．建立记录以上各项制度的执行都应在文字上有所反映，即应建立记录制度。